Đây là một trong những nơi phát tích sớm nhất của Phật giáo Việt Nam. Khoảng thế kỷ thứ 3, có một vị hòa thượng tên là Khương Tăng Hội dừng chân ở đây, dựng chùa truyền giáo, vì thế nơi đây là cái nôi của Phật giáo Việt Nam. Thiền học Việt Nam được khởi đầu với hòa thượng Khương Tăng Hội, ông cũng đem Thiền học sang truyền bá ở Trung Quốc thời Tôn Quyền (năm 247). Cha của Khương Tăng Hội là người nước Khương Cư (Sogdiane) cư trú tại Giao Chỉ để buôn bán, mẹ là người Giao Chỉ, ông chắc chắn là sinh trên đất Giao Chỉ, cha và mẹ ông mất năm ông lên mười tuổi, ông mất năm 280 bên nước Tấn.

Vua Hùng thứ 6 tên là Hùng Chiêu Vương lên chùa Thiên Ân trên đỉnh núi Tam Đảo để cầu tự, khi trở về đã gặp bà Lăng Thị Tiêu và rước về làm vợ; bà là người xinh đẹp, giỏi giang, có tài thao lược, giúp vua Hùng đánh giặc giữ nước Văn Lang.

Thiền viện Trúc Lâm Tây Thiên xây dựng trên nền của một thiền tự cổ (Thiên Ân Thiền Tự) có từ thế kỷ 3.